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德國 ZeroClamp 原點夾持快換系統
ZeroClamp之熱變位補償

       ZeroClamp原點夾持快換系統將所有之定心位置設於基板中心以配合機器轉台之旋轉軸(3軸機器所用之基板單元亦是如此), 除熱應變補償將朝中心軸與旋轉軸補償外, 基準位置並不會隨床台旋轉或移動而改變, 可確保工件重覆夾持之重置精度。